空中超音波計測用MEMS圧電ダイアフラム型センサにおいて，パルス超音波受信時の振動モードへ上部電極が与える影響について評価した。高分解能計測を可能とする複数周波数計測を目的として，上部電極は内側のセンシング電極と外側の共振周波数制御用電極に分割している。この上部電極を持つダイアフラムと持たないダイアフラムについて，減衰振動時の振動モードをレーザドプラ振動計により計測した。圧電出力に影響を与える中心対称モードに着目すると，上部電極無しでは4種類のモードが生じたのに対し，上部電極有りでは3種類のモードのみが生じた。上部電極の存在が高次モードの生成を抑制している可能性があり，複数周波数計測に有用である。