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パルス変調マイクロ波大気圧非熱平衡プラズマジェットによるレジスト膜除去速度のHe/O2ガス混合量依存性
◎大野常久・東浦峻太・今澤優子・猪俣尚則・石島達夫・川江 健・田中康規・上杉喜彦（金沢大学）
大気圧非熱平衡プラズマは，低温環境下かつ大気圧下で化学反応性の高い活性種を生成可能な手法である．このため，材料の表面処理や医療応用など様々な応用研究がなされている．本研究では，パルス変調マイクロ波大気圧非熱平衡プラズマジェット(PM-MAPPJ) 生成の動作ガスをHe, He/O2とし，O2混合量がレジスト除去特性に及ぼす影響を調査した．結果として，O2ガス混合量の増加に伴い，レジスト除去速度が増加する傾向にあることがわかった．特にHeガス3 slmに対し，O2ガスを300 sccm混合した時のプラズマ照射位置中心でのレジスト除去速度は1.9 um/minであった．これはO2ガスの混合により酸素由来の活性種が増加し，レジスト除去速度が増加したと考えられる．