A44-A4 マイクロマシン・センサシステム 露光技術他
3月19日 午後 A44会場
3-095- レーザ直接描画装置を用いた厚膜フォトレジスト露光
- ○村上裕二・石川智弘（広島大学）・木村一彦・松岡孝志・松本公三（レイテックス）
3-096- レジスト現像特性の露光波長依存性を応用した厚膜レジストの3次元微細加工技術
- ◎平井義和・菅野公二・土屋智由・田畑 修（京都大学）
3-097- 100nm狭ギャップを有するディスク型振動子形成のための複合露光とDRIE
- ◎高野貴之・昆野舜夫・李 東建・池原 毅（産業技術総合研究所）・三原孝士（オリンパス）
3-098- X線の回折を用いた3次元構造体の作製とLIGAプロセスへの応用
- ◎田靡 京（兵庫県立大学）・佐和吉敬（佐和鍍金工業）・西田諭史（ナノクリエート）・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
3-099- 紫外線面発光体の作製−ドット配置の設計−
- ◎岡山祐太・田中貴記・山下健治・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
A44-B1 マイクロマシン・センサシステム MEMS 他
3月20日 午前 A44会場
3-100- Pt 触媒を有するマイクロリアクターの作製と揮発性有機化合物の熱分解率測定
- ◎鈴木聡仁（奈良先端科学技術大学院大学）・西野正憲・西本尚弘・小関英一・中西博昭（島津製作所）
3-101- MEMS共振子を用いた電界電子放出電流の変調と検出
- ◎山下清隆（東京大学）・Charlot Benoit（University of Montpellier U）・Sun Winston（東京大学）・角嶋邦之（東京工業大学）・藤田博之・年吉 洋（東京大学）
3-102- 導波路/アクチュエータ間のレイヤ分離構造設計技術によるRF-MEMSスイッチ
- ◎山根大輔・Winston Sun（東京大学）・清田晴信・川崎繁男（京都大学）・藤田博之・年吉 洋（東京大学）
3-103- UHF帯可変アンテナ用圧電型MEMSキャパシタ
- ◎西垣亨彦・長野利彦・西尾真貴・尾林秀一・板谷和彦（東芝）・川久保 隆（東芝リサーチ・コンサルティング）
3-104- MEMSミラー制御系の小型化を指向したPSDに関する研究
- ◎永谷吉祥・橋野義弘・藤田孝之・前中一介（兵庫県立大学）
3-105- 高機能触覚ディスプレイ用大変位MEMSの開発
- ◎大澤一樹・岡山哲之・三木則尚（慶應義塾大学）
3-106- 表面弾性波素子における動的制御法の研究
- ○宮下雅広・小貫哲平・長澤純人・桑野博喜（東北大学）
A44-B2 マイクロマシン・センサシステム マイクロセンサシステム 他
3月20日 午前 A44会場
3-107- PZT圧電薄膜によるマイクロ発電装置
- ○柴田和誠・長澤純人・桑野博喜（東北大学）
3-108- 自己回復性マイクロヒューズ（SRF）の液体窒素中の動作検証と抵抗基礎特性
- ◎御手洗 茂・末富広樹・秋吉史博・匹田政幸・大塚信也（九州工業大学）
3-109- メカニカルヒューズ素子の衝撃周波数に対するオフ状態転移特性
- ◎秋吉フミヒロ・末富広樹・御手洗 茂・匹田政幸・大塚信也（九州工業大学）
3-110- 微小電極を用いたマイクロチャネル用高感度導電率センサの開発
- ○岩松新之輔・阿部 泰・渡部善幸・丹野裕司・佐藤敏幸（山形県工業技術センター）
3-111- 溶液プラグ操作による汎用的生化学分析システム
- ◎佐々文洋・福田淳二・鈴木博章（筑波大学）
3-112- 液滴生成およびハンドリングマイクロシステムの開発
- ○有賀啓二・松下 孟・小島浩幸・出口宏治・三木則尚（慶應義塾大学）
3-113- イレウスチューブを用いた小腸内圧計測
- ◎石川寛子・武井紀夫・長縄明大（秋田大学）・岡 潔（日本原子力研究開発機構）・芳野純治・若林貴夫・渡邊真也・内藤岳人（藤田保健衛生大学）
A45-B1 マイクロマシン・センサシステム X線技術他
3月20日 午前 A45会場
3-114- X線マスク直接露光による構造体の作製
- ○高橋正樹・辻井 浩・嶋田和真（兵庫県立大学）・矢代 航（東京大学）・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
3-115- ICP-RIE装置による高精度X線マスクの作製
- ◎辻井 浩・嶋田和真（兵庫県立大学）・矢代 航（東京大学）・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
3-116- タルボ干渉用大面積回折格子の作製
- ◎嶋田和真・辻井 浩・野田大二（兵庫県立大学）・矢代 航・百生 敦（東京大学）・服部 正（兵庫県立大学）
3-117- ディッピング法を用いた立体マイクロコイルラインの形成
- ◎瀬戸本 勝・松本吉史・越智大介・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
3-118- X線リソグラフィによるマイクロコイルの製作
- ◎越智大介・瀬戸本 勝・松本吉史・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
A45-B2 マイクロマシン・センサシステム マイクロ加工 他
3月20日 午前 A45会場
3-119- 二層ニッケル電鋳による高強度マイクロ金型の作製
- ◎木村太郎（兵庫県立大学）・佐和吉敬（佐和鍍金工業）・山下健治（ナノクリエート）・北谷 武（佐和鍍金工業）・山下 満（兵庫県立工業技術センター）・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
3-120- ホットロールエンボスによる導光板の成形
- ◎坂井俊亮・石澤直也・岡山祐太（兵庫県立大学）・佐和吉敬（佐和鍍金工業）・山下健治・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
3-121- 転写技術を用いた静電容量型小型傾斜センサの作製
- ◎三宅弘晃・石澤直也（兵庫県立大学）・糸魚川貢一・植田寛康（東海理化）・船曳陽一・西田諭史（ナノクリエート）・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
3-122- ナノイプリント技術のマイクロ燃料電池製造ヘの応用
- ◎張 毅・Jian Lu・周 豪慎・伊藤寿浩・前田龍太郎（産総研）
3-123- フォトリソグラフィーと熱化学反応を利用した超微細ダイヤモンド工具の開発
- ○松下 孟・諸節祐子・三木則尚（慶應義塾大学）
3-124- 樹脂と金属による直接接合技術
- ◎西本和史・石澤直也（兵庫県立大学）・植田寛康（東海理化）・西田諭史（ナノクリエート）・野田大二・服部 正（兵庫県立大学）
3-125- 光ファイバの加工におけるエッチング深さの制御
- ○辻 和弥・熊崎裕教・稲葉成基（岐阜工業高等専門学校）・羽根一博（東北大学）
A44-A1 フィジカルセンサ 機械量センサ
3月19日 午前 A44会場
3-126- 感光性樹脂への多重露光による圧力センサに関する研究
- 岸田雄介・◎田口正敏・藤田孝之・前中一介（兵庫県立大学）
3-127- 高性能シリコンマイクロホンの動作電圧低減
- ○田島利文・井口義則・後藤正英・小野一穂・杉本岳大・安藤彰男・栗田泰市郎（NHK）・武子太司・日森 徹（パナソニック半導体デバイスソリューションズ）
3-128- 渦電流微小変位センサの開発
- ◎金 春起（早稲田大学）・武内康浩（日本自動車部品総合研究所）・植田敏嗣（早稲田大学）
3-129- 非接触磁歪式多極型トルクセンサ
- ◎直江昌武・三田正裕（日立金属）
3-130- 発振回路法によるひずみ計測と損傷モニタリングへの応用
- 佐伯 弥・○齊藤敦史・宇都宮登雄（芝浦工業大学）
3-131- 実動作におけるロバスト性を向上した柔軟型シリコンMEMS触覚イメージセンサ
- ◎矢和田将貴・高尾英邦・澤田和明・石田 誠（豊橋技術科学大学）
3-132- Cr/Si傾斜カンチレバーとエラストマを用いた多軸触覚センサの作製と有限要素解析
- ◎寒川雅之・美馬達也・大西浩之・黄 裕銘・金島 岳・奥山雅則（大阪大学）・山下 馨・野田 実（京都工芸繊維大学）・池田正哲（オムロン）・野間春生（国際電気通信基礎技術研究所）
3-133- 材質識別のための積層型接触センサ
- ○藤崎晋太郎・木本 晃・信太克規（佐賀大学）
A44-A2 フィジカルセンサ 振動型センサ
3月19日 午前 A44会場
3-134- 水晶マイクロ加工による高周波振動子の開発
- ○譚 克・梁 金星・植田敏嗣（早稲田大学）
3-135- ディスク型MEMS振動子の保持方法について
- ○昆野舜夫・池原 毅（産業技術総合研究所）・三原孝士（オリンパス）
3-136- ディスク型振動子の共振周波数の温度依存性
- ○李 東建・昆野舜夫・高野貴之・池原 毅（産業技術総合研究所）・三原孝士（オリンパス）
3-137- 櫛歯型垂直変位電極を用いた基板面内軸回転検出振動型SOIジャイロスコープ
- ◎濱口裕之・菅野公二・土屋智由・田畑 修（京都大学）
3-138- 2軸バルクPZTジャイロに関する研究
- ◎前川賢太・田中佳人・藤田孝之・前中一介（兵庫県立大学）
3-139- MEMS ガスジャイロに用いるホットワイヤに関する研究
- ◎高瀬 誠・龍井良明・藤田孝之・前中一介（兵庫県立大学）
3-140- 単結晶シリコン薄膜のクリープ特性評価
- ○山口 剛・安藤妙子・佐藤一雄（名古屋大学）
A44-A3 フィジカルセンサ 電気・磁気・超音波センサ 他
3月19日 午後 A44会場
3-141- ナノグラニュラー型磁気センサの感度制御
- ◎蟹江三次・小山恵史・八木富一・長田誠一（大同特殊鋼）
3-142- プリント基板上の配線コイルパターンを用いた電流センサの開発
- ◎山内芳准・工藤高裕・松添雄二（富士電機アドバンストテクノロジー）・原山滋章（富士電機システムズ）
3-143- ICP-RIEを用いた空中超音波マイクロセンサの作製
- ○田中恒久・福田宏輝・井上幸二（大阪府立産業技術総合研究所）・山下 馨（京都工芸繊維大学）・奥山雅則（大阪大学）
3-144- SiO2ダイアフラム上圧電型超音波マイクロセンサ
- 山下 馨（京都工芸繊維大学）・◎吉崎智也・梅川 淳（大阪大学）・野田 実（京都工芸繊維大学）・奥山雅則（大阪大学）
3-145- Electromechanical coupling and damping effect of Capacitive Ultrasonic Micromachined Transducer
- ◎車 溥相（大阪大学）・李昇穆（IngenMSL）・奥山雅則（大阪大学）
3-146- 周期出力型温度センサの低消費電流化
- ○工藤高裕（富士電機アドバンストテクノロジー）・木代雅巳（富士電機システムズ）
3-147- 多孔質クロム薄膜とその赤外線吸収膜への応用
- 木村光照・○保原優智（東北学院大学）
3-148- 差動型電流検出型熱電対の試作とその熱分析への応用
- 木村光照・○木村大介（東北学院大学）
3-149- 比例型絶対温度センサを用いた真空センサの検討
- 木村光照・○高嶋徳明（東北学院大学）
3-150- 経気管支的に気道内肺機能測定を目指したカテーテル実装型流量センサの開発
- ○内藤淳平・式田光宏・川部 勤（名古屋大学）・林 悠太（名古屋大学医学部）・横田拓央・譚 智勇・佐藤一雄（名古屋大学）
A44-C3 ケミカルセンサ 匂いセンサ・嗅覚ディスプレイ
3月21日 午後 A44会場
3-151- Development of Odor Recorder based on real-time Mass Spectrometry
- ◎ソンブーンパープン・中本高道（東京工業大学）
3-152- 質量分析器データベースを用いた匂い要素臭選択に関する研究
- ○村上恵介・中本高道（東京工業大学）
3-153- マイクロプラズマを用いた汎用検出器の開発
- ◎有馬善則（奈良先端科学技術大学院大学）・西野正憲・叶井正樹・西本尚弘・中西博昭・小関英一（島津製作所）
3-154- 体臭によるバイオメトリクスセンサの開発
- ◎高見澤 忠（ユー・エス・イー）・小出敏弘（九州大学）・平野一哉（ユー・エス・イー）・林 健司（九州大学）
3-155- 犬型匂い・ガス源探知ロボットのための能動嗅覚センシングシステム
- ◎甲野藤 淳・石田 寛（東京農工大学）
3-156- スパイキングニューラルネットワークに接続するための匂いセンサインターフェース回路
- ◎野呂敏孝・福田 博・山中高夫（上智大学）
3-157- マルチホップ無線伝送を用いた匂いセンサネットワークの研究
- ○本多 純・中本高道（東京工業大学）
3-158- 匂いセンサを用いたリアルタイム匂い識別と遠隔臨場感制御への応用
- ◎多久島裕樹・Nitikarn Nimsuk・Wyszynski Bartosz・木下雅史・張 哲裕・中本高道（東京工業大学）
3-159- 匂いセンサと嗅覚ディスプレイを用いた遠隔香り映像再現
- ◎張 哲裕・木下雅史・多久島裕樹・Nimsuk Nitikarn・Bartosz Wyszynski・中本高道（東京工業大学）
3-160- 多成分嗅覚ディスプレイの改良
- ◎木下雅史・張 哲裕・中本高道（東京工業大学）
A44-C4 ケミカルセンサ ガスセンサ
3月21日 午後 A44会場
3-161- 触媒を堆積した多孔質アルミナフィルタを用いた半導体薄膜形エチレンセンサの開発
- ◎後藤 薫・喜井雄介・古川敬二・原 和裕（東京電機大学）
3-162- 低消費電力半導体薄膜ガスセンサの研究
- ◎堀内 穣・原 和裕（東京電機大学）
3-163- インピーダンス変化型半導体ガスセンサの作製、評価
- ◎武笠智昭・齋藤敦史（芝浦工業大学）
3-164- テラヘルツ波ケミカル顕微鏡によるガス選択検出手法の開発
- ◎小野坂宏之・紀和利彦（岡山大学）・川山 巌・斗内政吉（大阪大学）・塚田啓二（岡山大学）
3-165- 交流変調時におけるプロトンポンピングゲートFET型水素センサの応答特性評価
- ◎山口富治・滝澤正教・紀和利彦・山田博信・塚田啓二（岡山大学）
3-166- 各種ガスによるプロトンポンピングゲート水素センサのゲート部のインピーダンス変化
- ◎滝澤正教・山口富治・紀和利彦・山田博信・塚田啓二（岡山大学）
3-167- 水中マイクロプラズマ還元処理によるカーボンナノチューブのパラジウム修飾と水素ガスセンサへの応用
- 山根真司・小手川 誠・加藤祐樹・Khaled Osman Usama・今坂公宣・○末廣純也（九州大学）
A45-C1 ケミカルセンサ 味と溶液のセンサ
3月21日 午前 A45会場
3-168- 水晶振動子法による活性酸素種の計測
- ○松本裕之・松岡幹彦（岩崎電気）・野田和俊（産業技術総合研究所）
3-169- イオン交換樹脂を用いた細菌懸濁液導電率調整とDEPIMによる細菌検出への応用
- ○池田尚希・今坂公宣・末廣純也（九州大学）・有馬恵子・岡本光一・大石隆志（日鉄環境エンジニアリング）
3-170- 微量リポソームPt表面固定化マイクロボロメータによる熱化学センサ
- ◎浅井 健・吉岡健一・山下 馨・野田 実（京都工芸繊維大学）・島内寿徳・奥山雅則・久保井亮一（大阪大学）
3-171- 味センサの混合味溶液に対する応答と成分分離
- ○江崎 秀・飯山 悟（近畿大学）
3-172- ご飯のお粥に対する味センサの応答特性
- ○飯山 悟・江崎 秀（近畿大学）・都甲 潔（九州大学）
A45-C2 ケミカルセンサ ガス・匂いセンサ
3月21日 午前 A45会場
3-173- カンチレバーガスセンサのVOC検出感度評価
- ○池原 毅・魯 健（産業技術総合研究所）・布川正史・木村 睦（信州大学）・三原孝士（オリンパス）
3-174- マイクロカンチレバー検出器と吸着管を用いた小型化学センサシステム
- ○三原孝士（オリンパス）・池原 毅・魯 健・前田龍太郎（産業技術総合研究所）・木村 睦・布川正史・劉 野・平井利博（信州大学）
3-175- Dual QCMセンサを用いた光触媒反応の実時間計測
- ◎加藤 寛・西澤松彦・安部 隆（東北大学）
3-176- ポリマー膜被覆水晶振動子センサによるVOCガスの認識
- ◎劉 野・木村 睦・植木崇充・平井利博（信州大学）・三原孝士（オリンパス）
3-177- 水晶振動子上に構築した有機ナノ構造体によるガスセンサ
- ◎木村 睦・菅原 恵・布川正史（信州大学）・三原孝士（オリンパス）
3-178- 匂いセンシングに向けたナノ構造をもつ電極表面の作製
- ◎佐々木 優・佐藤元拓・益永くみ・林 健司・都甲 潔（九州大学）
3-179- ボールSAWデバイスを用いた匂いセンサの感度向上に関する研究
- ◎関根正顕・中本高道（東京工業大学）・中曽孝尊・野口和洋（凸版印刷）
3-180- SPR免疫センサによる着香物質検出方法の検討
- ◎清水拓造・小野寺 武・水田 完・三浦則雄・松本 清・都甲 潔（九州大学）
3-181- ロボット嗅覚用小型SPRセンサの研究
- ◎皆川勇一・香川譲徳・山崎弘樹・石田 寛・梅田倫弘（東京農工大学）