電子情報通信学会総合大会講演要旨
CT-1-3
STJを用いた質量分析とX線分析
○大久保雅隆・浮辺雅宏・志岐成友(産総研)
 分析装置において、超伝導トンネル接合検出器(STJ)を用いると、従来の分析装置の限界を上回る分析性能を実現できる。
 質量分析は、イオンの質量を電荷数で割った値(m/z)に応じてイオンを分離分析する手法で、名称とは異なり、質量を直接決めることはできない。STJを使うと、電荷数の測定が可能になり、真の質量分析を実現できる。
 X線分析では、放射光ビームラインにて、半導体検出器が不得意とする微量軽元素周辺の局所構造解析が可能になり、化合物半導体中の微量軽元素ドーパントのXAFS解析が可能になる。現在、ナノテクノロジープラットフォーム事業にてユーザーに公開しており、通常の分析機器では対応できない課題解決にチャレンジしている。