電子情報通信学会総合大会講演要旨
CT-1-2
材料分析に向けたTransition Edge Sensor(TES)型X線分析システム
○田中啓一(日立ハイテクサイエンス)・原 徹(NIMS)・満田和久(JAXA)・前畑京介(九大)・山中良浩(大陽日酸)
Transition Edge Sensor (TES)型X線分析システムは、広いエネルギー帯の特性X線を同時に取得が可能であり、高エネルギー分解能を有するためスペクトルの重なりがほぼなく元素同定の精度向上や検出限界の向上が可能である。本講演では我々が過去開発してきたシステム概要とアプリケーションデータについて紹介する。