電子情報通信学会総合大会講演要旨
CI-2-9
光MEMS融合システム
羽根一博(東北大)
Si微細加工に基づく微小電気機械(MEMS)技術は光システムの3次元の集積化およびアクチュエータによる機能化に有効である.本報告では,シリコン細線導波路回路に極微小のアクチュエータを組み込み,カプラの間隙を変える方式の光路切替用スイッチと可変マイクロリングを用いた波長選択スイッチを製作したので報告する.カプラスイッチではカプラの間隙をアクチュエータに変えることで2x2の光路切替を行う.マイクロリングを用いた波長選択スイッチでは,リングの周長をアクチュエータで変える.自由スペクトル領域(21nm)全体で共振波長が変えられる.これらのデバイスは静電駆動のため消費電力は極めて少ない(~10nW/10kcycle).またサイズが小さいので応答時間も早くなる(~10μsec.).