電子情報通信学会総合大会講演要旨
A-9-6
マハラノビス・タグチシステムを用いた銅表面画像検査技術の精度向上
○執行和浩(三菱電機)・小林英生(三菱電機メテックス)
信号処理技術の向上、ハードウエアの低価格化に伴い、自動化された外観検査技術が導入されている。しかし、検査において未知の異常モードが発生する場合は機械による判定が困難となる。そのため、外観検査においては、検査者による官能評価検査が必要な場合が多い。官能評価は、未知の異常モードが判別可能なメリットがある一方、検査者の習熟レベルによって、検出力の安定性・定量性に課題がある。 マハラノビス・タグチシステム(MTS)は特徴量間の相関を考慮するとともに、正常データのパターン空間を規定し、そのパターンからの乖離を多次元距離として求めて評価するため、官能評価に近い判定精度が期待できる。本研究では、銅合金製品のCCD画像を用いた表面検査工程にMTSの1手法であるRT法を適用し、官能評価に近い精度を有する自動判定技術を開発した結果を報告する。