静電アクチュエータは磁場の影響を受けにくい，銅損が少ない，軽量化に有利などの利点があるため，特殊環境下や空間的制約の多い環境で利用するには有効なアクチュエータとなり得る．これまでに薄型，フレキシブルといった特徴を持ち、積層による高出力化が可能なフィルム型リニア静電モータが提案されている．しかしながら，フィルム型リニア静電モータでは、構造上、電位分布の歪によって電極ピッチおきに推力リップルが生じる．そこで、この性質を考慮した駆動制御を行うことでリップルを低減する方法を示すとともに、実測によって得られたリップル低減効果を示す．