電気学会全国大会講演要旨
5-066
誘電泳動集積法により作製したZnOナノワイヤセンサのアセチレンガス検出特性
◎川邊祐貴・李 栗・林 大貴・中野道彦・末廣純也(九州大学)
油入変圧器の長期運用によって内部に熱的、電気的な負荷がかかると、絶縁油や絶縁紙が分解され、炭化水素系ガスが発生する。このうち、特にアセチレンは、変圧器油中ガス分析の際の指標ガスとして広く用いられる。近年、アセチレンを検出するためのデバイスとして、酸化亜鉛(ZnO)を用いたガスセンサが注目されている。我々はZnOナノワイヤを誘電泳動力により電極間に集積させるセンサ作製法を新たに提案し、実際に作製したセンサを用いてアセチレンガスの検出に成功した。また、ZnO表面に触媒として白金ナノ粒子を修飾することで、さらなる感度の向上が確認された。