空間電荷分布測定技術の一つであるパルス静電応力（PEA）法において圧力波の減衰や分散を考慮した空間電荷分布の補正処理方法が提案されている。しかし、一般にこれらの補正方法においては半導電電極と試料の音響インピーダンスは一致しているものと仮定されており、更に正確な補正を実施するためには実際の測定系におけるその音響特性を考慮する必要がある。本報告では、試料側からみた半導電電極の見かけ上の音響インピーダンスを用いて、空間電荷分布の補正処理を行ったので報告する。