筆者らは、ナノサイズ空孔を持つメソポーラスシリカ粒子をポリマーに充填した低誘電率複合絶縁材料の開発に取り組んでいる。今回、メソポーラスシリカ粒子をエポキシ樹脂に充填したメソポーラスシリカ/エポキシコンポジットを作製し、比誘電率およびtanδを測定したので報告する。