薬液を用いない環境に負荷の小さいマイクロ波励起水中気泡プラズマを用いた，低環境負荷のレジスト膜除去方式の実プロセスへの適用に向け，アンテナ材料として半導体(Si)を用いたプラズマ生成を試み，基礎特性を調査した。結果として，Si製スロットアンテナを用いた場合においても，低温プロセスおよびレジスト膜除去を実現した。