電気学会全国大会講演要旨
5-065
デュアル可動子をもつ光スキャナ用高速電磁振動アクチュエータの解析
◎卜 穎剛・吉田慎太郎・小柳津一晃・金城秀幸・井上 要・新田晃弘・水野 勉(信州大学)
光スキャナ用振動アクチュエータはレーザ光を走査する装置に利用されている。可動磁石形の電磁駆動方式は,電圧が低くて駆動力が大きいため,多用されている。しかし,磁性ヨークに渦電流が起因する磁気減衰が振動周波数と振幅の増加により顕著とり,高速大振幅での駆動が困難である。そこで,筆者らは磁気減衰が低減させ,デュアル可動子を有する高速振動アクチュエータを提案した。可動部1が電磁力で駆動し,振動がばねを介し可動部2に伝達される。磁気減衰が発生する可動部1が小振幅で駆動をし,磁気減衰が発生しない可動部2が大振幅で振動する。それによって磁気減衰が低減されて,大振幅な高速振動をすることができる。