電気学会全国大会講演要旨
3-142
水晶振動子型水素センサの感度・応答性のための熱解析を基にした設計
◎王 永淇・大井川 寛・池沢 聡・植田敏嗣(早稲田大学)
水素センサの感度と応答速度は,反応熱の熱量と水晶振動子の熱容量,および周囲への熱伝導によって決定される。従って,センサ素子の小型化によって熱容量を小さくし,更に支持部の断熱性を向上することが本水素センサの感度・応答性を向上させる有効な手段と考えられる。ただし,単純にセンサを小型化すると触媒の表面積も減少する,最適な設計を行うために水素センサの熱収支の解析が必要である。解析により水素センサの振動部分を薄肉化することが必要である。 熱収支解析を行った結果,新設計したセンサの感度は従来のセンサの約3.5倍に向上した,応答速度は従来のセンサの約3.8倍に向上した。