電気学会全国大会講演要旨
3-136
電解液の電位変動を受けた圧力センサの挙動についての解析
○前田光平・前田祐作・寺尾京平・鈴木孝明・下川房男・高尾英邦(香川大学)
近年,圧力センサの微小領域への実装が求められており,センサ素子が露出した状態での実装が必要とされつつある。しかし,露出した圧力センサを液中で動作した際,センサ信号に不安定性が生じていた。 本研究では液中で安定的に動作する小型圧力センサを実現するため、露出した圧力センサを液中で動作した際に生じるセンサ信号の不安定性を明らかにする。我々は,液中で動作した際に生じるセンサ信号の不安定性について,電解液の電位変動が影響していると考え,解析モデルを導出した。さらに,圧力センサを用いた電解液中での電位変動実験を行い,液中動作の信号不安定性が電解液の電位変動が影響していることを明らかとした。