未知の物体に触れたとき，柔軟な物体がもつ硬さはその物体を評価する上で重要な情報である。特に，人体臓器における硬さ判別は，医療行為などにおいて病変部位の特定などに重要な情報であり，この検出を目指したセンサデバイスの開発が，盛んに行われている。 本研究では，人体などといった柔軟な対象の硬さ検出を目指して，対象の食込み量に着目した硬さ検出原理を提案し，センサチップを2.3mm×2.5mmで設計，デバイスとして製作を行った。最後に製作したセンサのシリコン接触子に加えた荷重に対する出力信号の取得を行った結果，出力信号が感度0.49 mV/mN/Vで線形に応答していることを確認した。