電気学会全国大会講演要旨
3-098
電気めっき法によりPtナノ粒子修飾したカーボンナノチューブガスセンサの水素検出特性
◎村崎慎哉・小牟禮弘樹・中野道彦・末廣純也(九州大学)
カーボンナノチューブ(CNT)ガスセンサは誘電泳動集積法を用いてCNTを電極間に集積させることで容易に作製することができ、二酸化窒素等の酸化性ガスやアンモニア等の還元性ガスの常温検出を可能とする。一方、水素や炭化水素系ガスとCNTとの反応性は乏しいため、それらのガスと反応性が高い白金やパラジウム等の触媒金属をCNT表面に修飾させることで、その検出が可能となる。本研究では、誘電泳動集積法により作製したCNTガスセンサに対して、電気めっき法を用いて白金を修飾し白金修飾CNTガスセンサを作製し、濃度1%の水素の常温検出を試みた。