電気学会全国大会講演要旨
3-091
多層および単層金ナノ粒子アレイによるケミレジスタの作成
◎大岩史奈・渡辺真司・陳 斌・劉 傳軍・林 健司(九州大学)
近年,防災などの目的でガス検知ロボットの開発が進められている.ガス検知ロボットには周囲の化学環境のリアルタイムなモニタリングが求められており,そのためには応答が速く,なおかつ感度が高いガスセンサが必要とされている.そこで本研究では金ナノ粒子(AuNPs)アレイを用いたガスセンサに着目し,電極ギャップ間にAuNPsを自己組織化の原理を用いたLBL法による多層配列での架橋を行うことでケミレジスタセンサを作成し,ガス応答を調べた.その結果として,高速な応答を得ることができた.また,より優れたセンサの開発のため,電極ギャップ間にAuNPsの単層配列を行い,トンネル電流特性を得ることができた.