polytetrafluoroethylene (PTFE) を高周波(r.f.)スパッタリングにより水晶振動子上に成膜することにより、水晶振動子微小天秤 (QCM) 法によって活性酸素をモニタリングできる。本研究では、高感度の活性酸素種のモニタリング技術を確立することを目的とし、異なる温度でのQCM法を用いたフッ素系炭素薄膜による活性酸素種のモニタリングを行った。その結果、温度の違いによって活性酸素がフッ素系炭素薄膜に及ぼす影響が異なることがわかった。