オゾン生成法の1つとして誘電体バリア放電型オゾナイザが挙げられるが，近年立ち上がりの速いパルスを発生できるパルスパワー発生装置でオゾン生成を試みた研究結果も報告されている。本研究では駆動回路としてパルス電源を用い，オゾン生成実験を行った。本報告では，酸素原料を用いオゾナイザ内の冷却温度を変化させた際のオゾン生成特性を報告する。電源回路としてブルームライン型パルス形成回路(B-PFN)を使用し，オゾナイザは同心円筒電極型バリア放電用オゾナイザを用いた。冷却温度は293 K，273 Kとした。冷却によってより高濃度，高収率のオゾン生成が可能になったと言える。今後は冷却温度の更なる変更などを行っていく予定である。