電気学会全国大会講演要旨
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大気圧MCS放電プラズマの高密度化の検討
◎鯨井達哉・前山光明(埼玉大学)
本研究室ではマイクロホローカソード放電(MHCD)プラズマをプラズマカソードとして使用し、並列動作可能な円筒型並列MCS(マイクロホローサステインド)放電装置を開発した。しかしMHCD電極幅6.0 mm未満とした場合、MCS放電の安定な並列動作は確認できていない。本研究では様々なパラメータの変更を容易にするため円筒の部分を平板とした2次元的な装置を開発し、大気圧下においてMCS放電を安定に並列動作させるための条件を求めた。MHCDに印加するパルスの繰り返し周波数、パルス幅、 MHCD電流および外部抵抗の各値を変化させ放電の様子を観測した。その結果、パルス幅を1 μs, 3 μs, 20 μs, 35 μs, 50 μsと変化させた際、パルス幅を小さくすることでMCS放電の安定な並列動作を確認することができた。