電気学会全国大会講演要旨
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光熱拡散分光法による蛍光ガラスの評価
◎高橋瑛希・桃野浩樹・小西涼太・小西智也・上原信知・釜野 勝(阿南工業高等専門学校)
我々は,半導体における熱物性の評価手法の一つである光熱拡散分光(PTD:PhotoThermal Divergence)法が蛍光ガラスにおいて,評価が可能であることを確認できている。この内容については先の講演まで報告した。 今回は,同試料に対して時間分解PTD信号測定及びマッピング測定にも成功したので報告する.時間分解PTD信号はGaAsやGaNなどの半導体試料において確認されている測定結果と類似していた。また、マッピング測定の結果より試料表面の熱膨張に関する信号を垣間見ることができた。