電気学会全国大会講演要旨
1-053
誘電体バリア放電を用いた周囲ガス供給型低温プラズマジェットの分光測定
◎岩佐勇希・寺西裕太・寺西研二・下村直行(徳島大学)
プラズマジェットは,電極間に気体を流入させプラズマを外部にジェット状に放出させ物体に照射する装置である。これまでに誘電体バリア放電(DBD)型ジェット状プラズマの発光を分光測定した結果,空気中に含まれる窒素分子や酸素原子,OHラジカルによる発光が観測された。本研究では,ジェット状プラズマの外周に放電ガスとは異なるガス(周囲ガス)を供給できる周囲ガス供給型プラズマジェットを開発し,その動作特性について調査している。本装置では,周囲ガスの種類により,プラズマ中の種の選択的生成や制御の可能性が期待できる。本報告では周囲ガス供給型プラズマジェットにより生成したジェット状プラズマの分光測定結果について述べる。