ダイヤモンドライクカーボン（Diamond-like carbon: DLC）は高硬質，低摩擦性，ガスバリア性など優れた性質を有し，主に機械部品へのコーティングとして応用展開されている。DLCの大面積成膜および低コスト化が可能になれば，DLCの適用分野の拡大が期待できる。本研究ではトリプル電極を用いて基板上に高密度プラズマを生成する装置を開発し，大気圧・準大気圧下におけるDLC成膜実験を実施した。ラマン分光測定の結果，1580 cm-1（Gバンド）と1380 cm-1（Dバンド）の二つのピークが観測されており，アモルファスカーボン膜が成膜されていることを確認した。