大気圧プラズマは，真空装置が不要であり，表面処理などの応用が期待されている。本研究では，OHなど表面処理などに有用なラジカルを増加させるため，Arと水蒸気の混合ガスによる噴流型大気圧プラズマについて実験を行った。プラズマに対する評価は，発光分光によって行った。実験の結果，プラズマに極少量の水蒸気を加えるとOH, N2ラジカルが増加することがわかった。これは電離過程の変化や様々な化学反応により，ペニング効果が起こりやすくなったからと考えられる。このことから，プラズマに極少量の水蒸気を混合するとOHなどの有用なラジカルが増加することがわかった。