大気圧プラズマ源はオゾナイザとしての応用が期待されているが、そのためには電界強度や電子温度、気体温度などの情報を知る必要がある。プラズマ源は非常に小型のため実験では十分な情報が得られないので、本研究では数値解析を行った。今回は有限要素法を用いて放電が定常状態の時の電極周辺の電位分布、電界強度分布について解析した。その結果、絶縁体内部や近傍では等電位線が平行となるような分布となったので一様な電界強度が得られていたが、空気、絶縁体、金属が同時に接している三重点と呼ばれる領域においてはその一様な電界強度よりも1．5倍強い電界強度を確認することができた。