電気学会全国大会講演要旨
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低温重水素プラズマにおける窒素導入による炭素膜堆積抑制実験
◎飯田和也・野谷昌弘・佐々木 彩・上杉喜彦・田中康規・石島達夫(金沢大学)
今回、核融合炉における遠融プラズマ領域での不純物膜堆積、水素同位体吸蔵に関する知見を得るため、Heliotron-DR装置を用いて重水素/メタンプラズマを試料へ照射する。この条件下において窒素添加による炭素膜堆積の成長抑制効果、水素同位体の吸蔵特性を調べた。水素/メタン/窒素プラズマの分光観測結果より、揮発性のCNやNH分子の発光を確認できる。また、水素/メタン/窒素の炭素膜厚の表面温度依存性から、窒素添加による顕著な膜厚の減少が確認された。これらより、重水素/メタンプラズマに窒素を導入した際にも非凝集性のCNやND分子が形成され、炭素膜堆積、ダスト形成が抑制されることが期待される。