電気学会全国大会講演要旨
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低温プラズマ中におけるアーク放電による炭素不純物の生成と炭素膜形成
◎野谷昌弘・佐々木 彩・飯田和也・上杉喜彦・田中康規・石島達夫(金沢大学)
Heliotron-DRに水素プラズマを生成し、そのプラズマ中にて同軸型炭素電極をアーク放電させ、炭素不純物を供給するという実験を行った。これにより高熱流プラズマによるアブレーションなどが模擬可能である。生成した炭素不純物の評価と形成された堆積膜の評価を行い、水素/メタンプラズマにて生成される炭素不純物と堆積膜との比較をした。