電気学会全国大会講演要旨
1-171
減圧マイクロ波放電水素プラズマの分子回転温度計測とガス温度の推定
○赤塚 洋・清水良浩・根津 篤・松浦治明(東京工業大学)
低圧マイクロ波放電窒素プラズマのガス温度を推定するため、水素分子Fulcher-α帯のΔv=0,Q分枝の発光分光計測により、上準位のd状態の回転温度を計測した。上準位振動量子数について0 ≤ v' ≤ 4の範囲で回転温度を求めた所、v'の増加に伴い単調減少となり、その値は290 – 700 Kの範囲であった. 高振動励起準位ほど、核間距離が長くなり、慣性モーメントが増加する事が一因であると考察した。こうした分子定数の変化を取り入れて基底状態の回転温度を推定し、ガス温度の近似値として矛盾のない値である事を結論した。