CF4/希ガス用いた非熱平衡大気圧プラズマでは、CF4の分解に伴い様々な放電形態を示すことがわかっている。したがって、それらの特性を測定することでCF4分解の効率化や詳細なCF4分解過程を解明することが可能となる。ここでは、同軸円筒型の誘電体バリア放電リアクタを用い各種条件のもと実験を行い、各放電における発光や処理後のガス組成から放電特性やCF4分解過程を考察し報告する。