沿面放電は気中放電と比較して絶縁破壊電圧が低くなるため、電力機器や電力設備等で絶縁破壊を誘発する原因として抑制を目的とした研究が盛んに行われてきた。しかし、近年では、沿面放電の特徴である伸展速度の早さや放電開始電圧を低減できるといったことから発光デバイスやオゾナイザ、NOx除去装置等に沿面放電を応用する研究が積極的に進められてきている。本研究では沿面放電を発光デバイスに利用するために放電形態の把握、均一かつ安定した放電の実現を目的として希ガス雰囲気中における背後電極を有した沿面放電現象の計測を行ってきた。本稿では電極に繰返しパルス電圧を印加した際に発生する沿面放電の経時変化を観測した結果を報告する。