近年，パルス高電界による滅菌や生体の活性化の研究が注目されている。そこで，我々は仮想陰極発振器で発生する短パルス（数十ナノ秒）・大電力（数十MW）のマイクロ波に注目し、そのマイクロ波の高電界によって医療器具の滅菌処理が可能か実験的に検証することにした。仮想陰極発振を動作させる電源には、小型の同軸マルクス回路(‒180kV,50nsec)を用いる。また、電子ビームを発生するダイオードには、ポイントピンチダイオードを用いる。本発表では、小型同軸マルクス電源の動作試験を行ったので、その動作特性等について報告する。