TiO2光触媒は環境を改善する素材として期待されている。TiO2光触媒は紫外光下でのみ効果を発揮するが、プラズマを用いてTiO2の中の酸素を一部引き抜くことで伝導帯直下に新たな準位が形成されると考えられている。これによって、バンドギャップが小さくなり紫外光よりも低エネルギーである可視光でも光活性を実現することができる。しかし、この方法では経日による性能劣化が懸念されている。本研究はプラズマ処理のパラメータであるガス流量比とマイクロ波入力電力を変化させることにより、酸素欠損量を変化させた。そして、性能劣化を抑える1つの目安としてTiO2の黄色化を抑えることが示唆された。