電気学会全国大会講演要旨
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位相同期型QCM用水晶振動子の作製とその評価
◎山田翔平・今池 健・作田幸憲・関根好文(日本大学)
数ng 以下の微小質量を検出できるQCM(Quartz Crystal Microbalance:水晶振動子微小天秤)の性能の向上を目的として、我々は位相同期型QCM(以下PL-QCMとする)を提案した。本稿ではPL-QCMに必要となる、1枚の水晶板上に2組の電極対をもつ水晶振動子を作製し、その特性の評価を行った。その結果、両振動子の直列共振周波数は約280[ppm]、Q値は1%の差となり、1枚の水晶板上に特性がほぼ等しい2つの水晶振動子を作製できた。