屋外環境や高温環境で使用される機器の金属表面を保護するために施工されているライニング・コーティングなどの誘電体層の剥離時における空気層厚さの定量的評価を目的として，誘電体層・空気層・金属表面から成る3層構造にテラヘルツ帯の電磁波パルスを照射した際の反射波の理論解析および実験的考察を行った。高密度ポリエチレン板・厚さが連続的に変化する空気層・金属板から成る試験体を対象に測定実験を行った結果，空気層上面と下面からの反射波が分離でき，ピーク検出によって評価可能な最小空気層厚さは150μm程度であったが，理論解析結果と組み合わせることによって，反射波形の変化から推定可能な空気層厚さは最小33μmであった。以上の結果から，空気層上面と下面からの反射波が時間的に分離できない場合でも空気層厚さの定量的評価が可能であることを示した。