光を用いた計測は，変位，速度，形状など様々なものを非接触かつ高精度で測定することが出来きる．そのため，高い変位検出精度を必要とする微細加工技術に応用されてきた．我々はこれまでに光の持つ波動性に着目し，回折干渉現象を利用したセンサの開発を行い，XY軸それぞれに対してナノレベルの変位検出精度を達成してきた．しかしながら，従来手法ではXY軸それぞれに1つずつ検出器を必要とするため装置が大きく，変位に対する回折光強度が正弦疑似波状に周期的に変化するため計測範囲が狭い問題があった．そこで本論文では，受光部にCCDカメラを用いることによりXY軸精密位置決めを同時に実現するシステムを提案し，位置決め結果より精度の検証を行う．