一般的なACバリア放電を用いたオゾン発生装置ではその生成効率は最大で250g/kWh程度であるが、ボルツマン方程式解法で求めたオゾン生成効率は約400g/kWhであり、大きな乖離がある。この原因としてイオン・ロスが挙げられる。イオン・ロスの低減にはパルス放電が有効と考えられる。イオンが移動するより早い時間でパルスを止められるため、電子のみに電力を投入することが可能になる。しかしながら、パルスの代表的なワイヤ放電のオゾン発生特性では高濃度になると急激にオゾン濃度の低下をまねいてしまう。本報告ではパルス・バリア放電による高濃度オゾン発生技術として冷凍器を用いた手法の検討を行った。