オゾンは強力な酸化力を有し大気中では酸素に戻る性質がある。空気を原料にしてオゾンを作ると，自然分解できないNOxが生成される問題がある。本研究では従来のバリア放電よりも電子エネルギーが低く，大気圧下の空気や酸素中でも一様に発光する大気圧タウンゼント放電(APTD)をオゾン生成に応用し，FTIRを用いてオゾナイザ出口ガスの吸光スペクトルを調べた。その結果，FDオゾナイザでは，放電電力を変えてオゾン濃度を変化させるとN2O5，HNO3，N2Oの濃度は高くなるが，APTDオゾナイザではオゾン濃度を高くしてもN2O5，HNO3，N2Oの濃度はほとんど高くならなかった。以上のことから，空気原料オゾナイザにAPTDを用いるとN2O5，HNO3，N2Oの発生を抑制できることがわかった。