産業用オゾン発生器には，高濃度のオゾンを大量に生成可能な誘電体バリア放電(Dielectric Barrier Discharge: DBD)が広く用いられている。しかし，DBDによるオゾン生成過程は複雑であり，その解明が課題となっている。一般的にオゾン発生器のオゾン生成特性は，オゾン発生器の下流に設置されたオゾン濃度計により評価される。これに対して著者らは，オゾン発生器内部の試料ガス流に沿ったオゾン形成過程を観察することが，オゾン生成機構解明に有効であると考えた。そこで本報告では，オゾンが600 nm付近に有する光吸収帯のピークに着目し，594nmのレーザ光をオゾン発生器内部の酸素プラズマ中に照射することで，その透過率からオゾン発生器内部のオゾン密度in-situ測定を試みた結果について述べる。