真空アーク陰極点は，陰極点が陰極表面を高速に動きながら金属上の酸化膜を除去することができる。しかし，真空アーク陰極点による酸化膜の除去過程は未解明である。本論文では，酸化膜の除去過程の解明を目的として，真空アーク陰極点の酸化膜除去時におけるO Iスペクトルと面積除去速度の検討を行った。結果として，陰極点を維持するためには蒸気が必要である。陰極点は,蒸発しやすく効率良く電子を供給する酸化膜を求めて，分裂や移動する。