真空機器の小型化・大電力化のためには沿面放電耐電圧の向上が必須である。一般に、真空中における沿面放電は絶縁体上の正帯電から二次電子雪崩が進展することで発生すると考えられており、その帯電形成は絶縁体の物性値の中でも抵抗率と大きな関係がある。本稿では、表面・体積抵抗率の異なる4種類のアルミナセラミックスに対して負極性インパルス電圧印加による沿面放電試験および電圧印加後の帯電分布測定を行い、その関係について検討した。実験結果より、絶縁体の適度な低抵抗化は沿面耐電圧向上につながることが明らかになった。