真空中沿面放電現象の要因の一つに，絶縁体からの電子衝撃脱離ガスが挙げられている。このため高エネルギーの電子ビームを照射した際に絶縁体から脱離するガスの種類・量を分析する必要がある。過去の研究で絶縁体に電子ビームを照射すると帯電を生じ，測定結果に影響を与えている可能性があった。そこで本報告では電子ビームの単パルス照射を用いて，絶縁体が帯電した時のガスが脱離する様子の変化を観測した。アルミナセラミックスに電子照射を繰り返し行うと，電子照射開始後ガス量の増加（放出）の始まりが遅れることがあった。放出遅れの原因としては，電子パルス照射によって生じるアルミナセラミックス上の帯電が原因として考えられる。