同軸線路により生成した1µs方形波電圧パルスによって大気圧非平衡プラズマを生成し、時間分解発光スペクトルから求めたN₂回転温度によってプラズマのガス温度を求めた結果、パルス放電初期では320±20K、パルス放電終期では580±20Kであることがわかった。ガス温度、発光強度および放電電圧・電流の時間変化の比較から、パルス放電初期では低ガス温度を保ちつつ電離・励起・解離といった過程により多くの電力が使われており、反応活性種の効率的な生成に望ましい放電状態が実現されていることが明らかになった。