ガス遮断器は，大電流遮断時に発生するアークにSF6を吹き付けてアークを消滅させている。このアーク消滅過程を詳細に明らかにすることが，ガス遮断器のコンパクト化，高性能化に繋がる。SF6アーク遮断現象は高速現象であり，原子・分子が複雑に関係する。筆者らはこれまでにSF6アークを対象として，原子・分子・イオン・電子間の反応速度を考慮した反応非平衡モデルを構築してきた。このモデルにより，それぞれの粒子の生成消滅機構が明らかにでき，アーク遮断性能を決める物理を検討できる可能性がある。一般にSF6アーク遮断現象においては， F原子の電子付着現象がアーク消滅過程に大きく作用するといわれる。本報告ではF-に着目し，いずれの反応がF-の生成・消滅に大きく寄与するのかを反応非平衡モデルから検討した。