ZnOアレスタ素子の信頼性試験の一つに課電寿命試験があり、開発初期の素子では熱暴走に到る場合があった。寿命特性が改善された現行素子では、この試験における抵抗分漏れ電流は時間とともに減少する。しかし、現在でもこの電流減少についての理由は明確にはなっていない。 今回、筆者らが開発した実素子に適応可能なC-V測定装置にて、課電寿命試験前後、及び試験後の回復過程におけるバリア高さを調べ、電流減少はバリア高さが増加し、これに伴って電流が抑制されることを明らかにした。